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　　专利摘要显示，本实用新型公开了一种基片台的提升装置，涉及半导体生产技术领域，包括基座和升降台，所述基座的两侧均至少设有一个导杆和至少一个升降气缸，升降台滑动连接于基座，升降台的两侧均设有直线轴承，直线轴承与导杆滑动配合，升降气缸上的活塞杆末端设有与升降台连接的浮动接头，沿基座的宽度方向，基座两侧的导杆错位设置，在升降台的升降移动过程中，能够通过浮动接头的摆动消除升降气缸的活塞杆与导杆的方向误差，从而降低安装精度和零件精度，利于降低成本，并且能够避免因安装误差导致运行不流畅的问题。