哈希游戏- 哈希游戏平台- 哈希游戏官方网站

　　专利摘要显示，本发明公开了一种用于晶圆减薄机气浮主轴的复合节流静压气体径向轴承，属于静压气体轴承技术领域；包括轴承壳体、沿轴向依次设置在轴承壳体内的轴承内圈、复合节流器，对称设置在轴承壳体轴向两外侧端面的压缩笼，以及设置在轴承壳体和压缩笼内部之间的弹性环、均压环、预紧压环；压缩笼包括压缩笼外圈、压缩笼内圈、轴向设置在内外圈之间的压缩环，及沿圆周方向均匀连接在压缩环与压缩笼外圈和压缩笼内圈之间的多个弹性压缩结构。本发明通过设计压缩笼结构，将轴承内圈的径向振动运动转换为预紧压环的轴向振动，进而通过弹性环的应变能转换为电能消耗，为轴承提供压电分流阻尼，降低轴承内圈的振动幅值，有效提高静压气体径向轴承的稳定性。